退職記念最終講義（2013年3月19日）
JAIST国際スクール「Cat-CVD (Hot-Wire CVD) and Related Technology―Fundamentals
and Application to Solar Cells and Others」の写真
(2013年3月4日～8日、金沢市内「しいのき迎賓館」、および、能美市「まつさき旅館」にて開催)
JAISTキャンパス内の写真
アルバム
ＮＥＤＯの太陽電池に関するプロジェクトの推進のために購入した新型Cat-CVD装置、「太陽電池量産基礎実験用Cat-CVD装置」の写真。
この装置では、156 mm角 の太陽電池用基板への膜堆積ができます。太陽電池用結晶シリコン基板は、縦に置かれた基板トレイに、その両端を挟まれて固定され、基板を反転させるだけで、基板表裏への膜堆積が簡単にできる構造となっています。
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人と大きさを比較した新型Cat-CVD装置、「太陽電池量産基礎実験用Cat-CVD装置」全景の写真。堆積チェンバーは７室あり、基板トレイに固定された結晶シリコン基板は、ロボットにより堆積チェンバーを変えながら膜堆積する。手前右のチャンバーがロードロックチェンバーで、試料の出し入れを行う。
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ロードロックチェンバー横のタッチパネルで膜堆積に関わる全ての操作を行う。
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156mm角の太陽電池用結晶シリコンウェーを格納するための基板トレイ。
この装置は、基板を立てて膜堆積をすることに特徴があり、これにより、縦型のインライン形式量産機に関する基礎実験も行えるようになっている。
太陽電池用Cat-CVD装置の写真。主としてアモルファス・シリコン／結晶シリコン・へテロ接合太陽電池に関わる研究に使用。