＊印は共通装置です。

【膜をつくる】

• エキシマレーザー薄膜作製装置
• 三元DC/RFスパッタ製膜装置
• 単元RFスパッタ製膜装置　＊
• 電子ビーム蒸着装置　＊

【膜を評価する】

• ラザフォード後方散乱分析装置（RBS）＊
• 原子間力顕微鏡（AFM）＊
• 走査型電子顕微鏡（SEM）＊
• 透過電子顕微鏡（TEM）＊
• X線回折装置（XRD）　＊
• SQUID　＊
• ρ-T/I-V測定用クライオスタット
• 超伝導マグネット　＊

【微細加工する】

• スピンコーター　＊
• マスクアライナー　＊
• 反応性イオンエッチング装置（RIE）＊
• ワイヤーボンダー　＊

【バルクを作る、ほか】

• 高温管状炉
• 高温ボックス炉