平成２８年度 ナノテクノロジープラットフォーム公開講座

「材料の微細加工のためのイオンビーム技術の基礎と実習」を開講

北陸先端科学技術大学院大学では，地域社会へ開かれた大学を目指す一環として，下記のとおり公開講座を開講いたします。

「材料の微細加工のためのイオンビーム技術の基礎と実習」

場　所：北陸先端科学技術大学院大学　JAISTイノベーションプラザ

講　師：富取　正彦　（ＪＡＩＳＴ先端科学技術研究科マテリアルサイエンス系・応用物理学領域 教授）
八坂　行人　（株式会社日立ハイテクノロジーズ、ＪＡＩＳＴ客員教授）
赤堀　誠志　（ＪＡＩＳＴナノマテリアルテクノロジーセンター准教授）
宇野　宗則　（ＪＡＩＳＴ技術サービス部 技術専門職員）
マレク　シュミット　（ＪＡＩＳＴ水田研究室研究員）

日　時：平成２９年１月１９日（木）　１０：００～１７：００

内　容：Gaに代表される液体金属イオン源を用いた集束イオンビーム(FIB)技術は、透過型電子顕微鏡用試料の作製や半導体製造用フォトマスクの修正など、様々な材料の微細加工に広く利用されている。また近年さらなる微細化に向け、電界電離ガスイオン源(GFIS)を用いたFIB技術が進展しており、本学にもＨ25年度に装置が導入され、Ｈ27年度からナノテクノロジープラットフォーム事業の登録装置として外部公開されている。本講座では、材料の微細加工に有用なFIB技術を広く良く知っていただくことを目的として、FIBおよび関連要素技術の一つである電界イオン顕微鏡(FIM)の基礎を講義するとともに、GFIS-FIB(もしくはGa-FIB)装置を用いてビーム調整や微細加工の実習を行う。

対　象：企業・他大学等に所属する方で、ＦＩＢ、ＧＦＩＳ-ＦＩＢについて学びたい、 あるいは本学のこれらの装置の利用を希望される方

定　員：５～７名程度（先着順　定員に達し次第締切）

受講料：６，２００円（税込）

申込方法：受講希望の方は、①氏名（ふりがな）、②勤務先等・職名、③受講の目的、④本講座に期待すること、⑤書類送付先、⑥電話番号、⑦メールアドレスを明記の上、E-mailまたはFAX（受講申込書は以下ＵＲＬよりダウンロード可）でお申し込みください。

申込締切：平成２９年１月１０日（火）必着

受講申込書はこちら（PDF）

お申込・お問合わせ先：
北陸先端科学技術大学院大学 研究国際部 研究推進課 総括・企画係
TEL:0761-51-1896・1902　FAX：0761-51-1919　E-mail：r-soukatsu@www-cms176.jaist.ac.jp