研究設備

研究室の研究装置

素子作製関連

真空蒸着装置
零号機		 真空蒸着装置
一号機
(ALSテクノロジー
株式会社)		 真空蒸着装置
二号機		 超高真空蒸着装置
(北野精機)
グローブボックス
(MBraun)		 スピンコーター UVオゾン処理装置 クリーンブース
（クラス１００）
グローブボックス
(KIYON)		 真空蒸着装置
(ＡＬＳ)

・高分子CVD装置 

・昇華精製装置

・超純水製造装置

・素子封止装置

 

素子評価関連

半導体パラメータ
アナライザー
（Keithley 4200SCS/FA）		 ELスペクトル
測定装置		 FT-IR
(Termo)		 有機EL素子寿命
評価装置
太陽光
シミュレーター		 He-Cdレーザー
（金門電気）		 表面・界面分光
測定装置
（システムインスツルメンツ）		 太陽電池投射光子
変換効率評価
システム
LCRメーター
４２８４A
（Agilent Technology）		 偏光顕微鏡

EL素子評価システム
（EL素子量子効率、蛍光量子収率評価用）

 

材料合成関連

カラム
クロマトグラフィー

溶媒対応
グローブボックス

ドラフト

共通利用装置 

・キャリヤ移動度測定装置（Time-of-Flight法）
・共焦点顕微ラマン分光装置
・紫外可視分光光度計（JASCO）
・蛍光燐光分光光度計（JASCO）
・フーリエ変換赤外分光光度計（Thermo Nicolet AVATOR 360）
・蛍光寿命測定装置（Joｂan Yvon）
・紫外光マスクアライナー（Karl Suss MJB3 UV400）
・XPS（ULVAC Phi）
・XRD
・ESR（JASCO）
・AFM（SII製）
・触針法膜厚計（DEKTAK 3030）
・接触角測定装置
・大気中光電子分光装置AC-2（理研計器）
・電子ビーム露光リソグラフィー装置
・NMR
・SEM
・TEM
・ゼータ電位計