【特徴】

分解能 4 nm@30kV による高品位なSIM像を取得できます。SEMでは捕らえにくい金属・結晶粒のチャネリングコントラスト像も取得可能です。また、高分解能観察を可能とするFIBカラムでは高精度の加工も実現します。本装置は、低加速FIB加工により、試料に対するダメージを最小限にとどめた加工が可能です。TEM試料作成などに代表されるアプリケーションにおいて、大きな効果を発揮します。