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2021年3月 APEXにレター論文が掲載されました。
Mohitさんの研究成果がAPEXに掲載されました。HfO2系薄膜で強誘電性を得るためにはアニール条件を適切に設定して直方晶を形成する必要があります。しかしこの直方晶は準安定相です。本論文では、スパッタ法で形成したHf-Zr-O（HZO)膜と溶液プロセスで形成したYドープHZO膜における強誘電性の安定性について比較検討しています。詳細は業績の2021フォルダの論文リンクをご参照ください。
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