高村研究室

2010.11.17-18 　　第22回化学とマイクロ・ナノシステム研究会

　【会場】　　　　名古屋大学医学部附属病院

　【発表題目】

• チップ内微小真空機器のため計測法の検討
  杉山清隆、浮田芳昭、高村禅